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YoungChip® TBS-300微流控芯片真空热压机
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  • 产品介绍

产品名称微流控芯片真空热压机
规格型号

YoungChip® -TBS-300

产品用途

扬清全新TBS-300 全自动真空热压机,采用750W进口伺服电缸替代原有的气动压力系统,压力稳定性更高并且更加节省空间。同时温控精度和工作平面度更高,更加适用于小尺寸微流控芯片的热压成型和键合。

产品特点

基本控制参数:键合温度、压力与真空度;

使用恒温控制加热技术,实现温度精确控制;

铝合金工作平台,上下面平整,热导速度快、热导均一;

加热键合面积大,涵盖常用尺寸的微流控芯片;

工作平台操作方式为上下芯片手工对准贴合,自动加压键合;

压力精确可调,针对不同的材料可选用不同压力;

采用独特的真空热压系统,在保证芯片不损坏的情况下大幅度提高键合成功率。



  • 技术参数

序号名称参数
1

电源规格

AC220V 50HZ

2

设备功率

3200W

3

控温精度

±0.1°C

4

温度均一性

热压板不同位置温度差异±0.5°C

5

控制系统

PLC一体屏控制系统

6

操作界面

10寸触摸屏中/英文页面

7

驱动方式

进口伺服电缸

8

压力范围

900KG

9

控温方式

日本RKC双温控器控制,双区风冷

10

贴合高度

9.3cm

11

环境温度

室温—180℃

12工作湿度

40%—95%RH

13

设备外形尺寸

400mm*600mm*930mm

14

产品重量

228KG

15

设备安全

急停按钮、蜂鸣报警