无掩膜板紫外光刻机 - 浙江扬清芯片技术有限公司

无掩膜板紫外光刻机

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产品名称	紫外光刻机
规格型号	无掩膜板
产品用途	利用紫外光源对紫外敏感的光刻胶进行空间选择性的曝光，进而将设计好电路版图转移到硅片上形成集成电路，这一工艺就是紫外光刻技术。光刻机的分辨率和套刻精度直接决定了所制造的集成电路的集成度，也成为了评价光刻设备品质的关键指标。激光直写设备具备很高的灵活性，且可以达到较高的精度，但由于是逐行扫描，曝光效率较低。托托科技的无掩模板光刻设备基于空间光调制器 (DMD/DLP)的技术，实现了高速、高精度、高灵活性的紫外光刻。

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