| 产品名称 | 紫外光刻机 | ||||||
| 规格型号 | 紫外光刻机 | ||||||
| 产品用途 | 该款光刻机是专门为微流控用户设计和开发的新型设备。 | ||||||
| 产品特点 | 一键完成多基片微纳结构设计图案的顺序加工 不同分辨率激光加工模块快速切换 256级灰度3D 加工 0.6-5μm 直写分辨率 | ||||||
| 序号 | 名称 | 参数 | |||||
| 1 | 曝光面积 | 4英寸 | |||||
| 2 | 曝光波长 | 进口LED 365nm | |||||
| 3 | 分辨率 | 0.8μm-1μm | |||||
| 4 | 对准精度 | ±1μm | |||||
| 5 | 样品尺寸 | 最大4寸 | |||||
| 6 | 样品厚度 | 0.1-2mm | |||||
| 7 | 曝光模式 | 数字设定对准间隙和曝光间隙 | |||||
| 8 | 最大胶厚 | 400μm(SU-8胶) | |||||
| 9 | 工作环境 | 室温，相对湿度<80% | |||||
| 10 | 光源平行度 | 2.5° | |||||
| 11 | 曝光能量密度 | >40mW/cm² | |||||
| 12 | 光照不均匀性 | ≤2.5%(100mm范围) | |||||
