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YoungChip®HZ-10微流控高精度烤胶台
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  • 产品介绍

产品名称微流控高精度烤胶台
产品型号YoungChip®HZ-10
产品简介YoungChip®HZ-10微流控高精度烤胶台是一款高精密实用型烤胶设备。整机采用创新一体化氧化铝结构,外观简约规整,兼具高硬度与优异耐腐蚀性。设备搭载高性能数显温控模组,控温精准稳定;核心加热组件使用寿命持久,烤胶板面温度分布均匀。产品适配光刻工艺烤胶工序,及各类对控温精度、热场均匀性有严苛标准的实验场景,全面覆盖各大高校与科研院所的常规科研需求。


  • 技术参数

系统参数
参数类别技术规格
加热面板尺寸中心区域,直径170mm
控温范围室温-250℃
温度分辨率0.1℃
控温精度±0.2℃(温度稳定后)
温度均匀性<1%
电源输入220V,5A
功率1600W
适用基片尺寸6英寸以下圆晶
外形尺寸370mm×320mm×130mm(长×宽×高)
特点与优势
●机身材质优异:整机全阳极氧化铝结构,简约美观,硬度高、抗腐蚀,机身耐用易维护
面板配置优良:加热面板同为氧化铝材质,搭配热辐射式密封盖,烘烤环境更稳定
●精准恒温控制:搭载高性能数显温控仪表,控温精度高,温度调控稳定直观,可选配线性控温功能
●长效均匀加热组件:核心加热部件使用寿命长,台面热场均匀性好,避免局部温差影响实验结果
●独立电路控温,安全可靠:加热输出搭载独立电路控制,电路分区管控,大幅提升整机运行安全系数
●沉入式小型化结构:加热组件采用沉入式设计,整机尺寸小巧紧凑,可直接置入手套箱使用,适配密闭实验工况